設備一覧（材料分析）

走査電子顕微鏡

SEM

材料表面の微細形態観察

低エネルギー走査電子顕微鏡

LE-SEM

最表面の微細形態観察

低真空走査電子顕微鏡

LV-SEM

非導電性材料の表面形態観察

透過電子顕微鏡

TEM

原子～ナノスケールの微細構造観察

走査型プローブ顕微鏡

SPM

表面微細形状・局所物性の測定

3次元粗さ顕微鏡（レーザ顕微鏡）

－

電子線後方散乱回折装置

EBSD

結晶方位・結晶組織の解析

X線CT装置

X線CT

非破壊による内部構造観察

蛍光顕微鏡

－

蛍光を発する材料の観察

非接触三次元測定装置

－

非接触による三次元形状測定

ブロードイオンビーム加工装置
（クロスセクションポリッシャ加工装置）

BIB
（CP^TM）

SEM観察用の断面試料作製

集束イオンビーム加工装置

FIB

SEM・TEM観察用の精密断面作製

プラズマ集束イオンビーム加工装置

SEM・TEM観察用の大面積精密断面作製

X線光電子分光分析装置

XPS（ESCA）

極表面の元素分析・化学状態解析

飛行時間型二次イオン質量分析装置

TOF-SIMS

極表面の微量成分分析・有機物分析

電子線マイクロアナライザー

EPMA

微小部の元素分析

エネルギー分散型X線分光分析装置

EDX

SEM・TEM観察部の元素分析

電子エネルギー損失分光分析装置

EELS

TEM観察部の化学結合状態解析

軟X線発光分光分析装置

SXES

SEM観察部の化学結合状態解析

波長分散型X線分光分析装置

WDX

微小部の微量元素分析

イオンクロマトグラフ分析装置

イオン成分の定性・定量分析

誘導結合プラズマ発光分光分析装置

金属元素の定性・定量分析

誘導結合プラズマ質量分析装置

微量金属元素の定性・定量分析

レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析装置

微量元素の定性・定量分析、元素マッピング

X線回折測定装置

結晶性物質の同定・定量・構造解析

蛍光X線分析装置

ガスクロマトグラフ分析装置

GC

揮発性成分の定量分析

ガスクロマトグラフ質量分析装置

GC/MS

揮発性成分の定性・定量分析
※前処理装置：HS、Py、TDあり

ガスクロマトグラフ飛行時間型質量分析装置

GC-TOFMS

揮発性成分の高精度定性・定量分析
※前処理装置：Pyあり

におい嗅ぎ-ガスクロマトグラフ質量分析装置

GC-O-MS

におい成分の定性・定量分析
※前処理装置：HS、TDあり

直接導入型質量分析装置

DI-MS

有機物の定性分析

高速液体クロマトグラフ分析装置

HPLC

液体成分の分離・定量分析

液体クロマトグラフ質量分析装置

LC-MS

有機物の定性・定量分析

液体クロマトグラフ飛行時間型質量分析装置

LC-TOFMS

有機物の高精度定性・定量分析

ゲル浸透クロマトグラフ分析装置

GPC

高分子の分子量分布測定

フーリエ変換赤外分光分析装置

FT-IR

有機材料の主成分定性分析、微小異物分析
※各種アクセサリー：赤外顕微鏡、高感度検出器、拡散反射、角度可変あり

顕微レーザーラマン分析装置

LR,Raman

微小部の組成分析・構造解析

紫外・可視・近赤外分光光度計

UV-VIS-NIR

透過率・吸光度・反射率などの光学物性測定

分光蛍光光度計

FL

蛍光物質の微量定性・定量分析

核磁気共鳴分析装置

NMR

有機材料の分子構造解析

パルス核磁気共鳴分析装置
（時間領域核磁気共鳴分析装置）

パルスNMR
(TD-NMR)

水素を含む材料の分子運動性評価

電子スピン共鳴分析装置

ESR

フリーラジカルの定性・定量分析

全有機体炭素分析

TOC

水溶液中の有機炭素量測定

熱重量示差熱分析装置

TG-DTA

灰分量・熱分解温度の測定

示差走査熱量測定装置

DSC

融点・ガラス転移温度・結晶化挙動の測定

熱機械分析装置

TMA

ガラス転移温度・軟化温度の測定

動的粘弾性測定装置

DMA

材料の粘弾性測定

熱重量・質量分析装置

TG-MS

加熱時の重量変化・発生ガス分析

メルトインデクサ

粒度分布測定装置（レーザー回折・散乱式）

動的光散乱装置

カールフィッシャー水分計

マイクロビッカース硬度計

ダイナミック硬度計

自動接触角計