形態観察
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設備
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略称
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走査電子顕微鏡
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SEM
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低エネルギー走査電子顕微鏡
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LE-SEM
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低真空走査電子顕微鏡
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LV-SEM
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透過電子顕微鏡
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TEM
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走査型プローブ顕微鏡
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SPM
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3次元粗さ顕微鏡
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電子線後方散乱回折装置
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EBSD
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接触式表面段差計
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X線CT装置
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集束イオンビーム加工装置
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FIB
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イオンミリング加工装置
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ブロードイオンビーム加工装置
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BIB
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表面分析
| 設備
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略称
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X線光電子分光分析装置
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XPS, ESCA
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オージェ電子分光分析装置
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AES
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二次イオン質量分析装置
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D-SIMS
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飛行時間型二次イオン質量分析装置
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TOF-SIMS
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X線マイクロアナライザ
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XMA, EPMA
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無機分析
| 設備
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略称
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誘導結合プラズマ発光分光分析装置
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ICP-AES
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誘導結合プラズマ質量分析装置
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ICP-MS
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イオンクロマトグラフ分析装置
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IC
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蛍光X線分析装置
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XRF
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X線回折装置
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XRD
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有機分析
| 設備
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略称
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ガスクロマトグラフ分析装置
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GC
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ガスクロマトグラフ質量分析装置
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GC/MS
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直接導入型質量分析装置
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DI-MS
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高速液体クロマトグラフ分析装置
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HPLC
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ゲル浸透クロマトグラフ分析装置
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GPC
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フーリエ変換赤外分光分析装置
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FT-IR
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顕微レーザーラマン分析装置
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Raman
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核磁気共鳴分析装置
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NMR
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電子スピン共鳴分析装置
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ESR
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紫外・可視・近赤外分光光度計
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UV-VIS-NIR
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全有機体炭素分析
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TOC
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物性評価
| 設備
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略称
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示差熱・重量分析装置
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TG/DTA
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示差走査熱量計
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DSC
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熱機械分析装置
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TMA
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動的粘弾性測定装置
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DMA
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粒度分布測定装置（レーザー回折・散乱式）
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カールフィッシャー水分計
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マイクロビッカース硬度計
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ダイナミック硬度計
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自動接触角計
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