形態観察
設備 |
略称 |
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走査電子顕微鏡 |
SEM |
低エネルギー走査電子顕微鏡 |
LE-SEM |
低真空走査電子顕微鏡 |
LV-SEM |
透過電子顕微鏡 |
TEM |
走査型プローブ顕微鏡 |
SPM |
3次元粗さ顕微鏡 |
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電子線後方散乱回折装置 |
EBSD |
接触式表面段差計 |
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X線CT装置 |
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集束イオンビーム加工装置 |
FIB |
イオンミリング加工装置 |
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ブロードイオンビーム加工装置 |
BIB |
表面分析
設備 |
略称 |
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X線光電子分光分析装置 |
XPS, ESCA |
オージェ電子分光分析装置 |
AES |
二次イオン質量分析装置 |
D-SIMS |
飛行時間型二次イオン質量分析装置 |
TOF-SIMS |
X線マイクロアナライザ |
XMA, EPMA |
無機分析
設備 |
略称 |
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誘導結合プラズマ発光分光分析装置 |
ICP-AES |
誘導結合プラズマ質量分析装置 |
ICP-MS |
イオンクロマトグラフ分析装置 |
IC |
蛍光X線分析装置 |
XRF |
X線回折装置 |
XRD |
有機分析
設備 |
略称 |
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ガスクロマトグラフ分析装置 |
GC |
ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
GC/MS |
直接導入型質量分析装置 |
DI-MS |
高速液体クロマトグラフ分析装置 |
HPLC |
ゲル浸透クロマトグラフ分析装置 |
GPC |
フーリエ変換赤外分光分析装置 |
FT-IR |
顕微レーザーラマン分析装置 |
Raman |
核磁気共鳴分析装置 |
NMR |
電子スピン共鳴分析装置 |
ESR |
紫外・可視・近赤外分光光度計 |
UV-VIS-NIR |
全有機体炭素分析 |
TOC |
物性評価
設備 |
略称 |
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示差熱・重量分析装置 |
TG/DTA |
示差走査熱量計 |
DSC |
熱機械分析装置 |
TMA |
動的粘弾性測定装置 |
DMA |
粒度分布測定装置(レーザー回折・散乱式) |
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カールフィッシャー水分計 |
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マイクロビッカース硬度計 |
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ダイナミック硬度計 |
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自動接触角計 |
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