微量成分分析

試料破壊室に高純度アルゴンガスを充満させた後、気密パッケージの破壊（穿孔）を行い、デバイス中から噴出したガス成分の定量評価を行います。

• レーザパッケージ内の不純物ガス定量
• MEMSセンサ内の封止環境検査
• 各種薄膜デバイスの気密パッケージ評価

化学的前処理とICP発光分析（ICP-AES）およびICP質量分析（ICP-MS）を用いて、材料中に存在する微量金属の分析を行います。

• シリコンウエハ表面の微量金属不純物分析
• 電子デバイス材料中の微量金属ドーパント濃度測定
• 溶出試験後の抽出液中の微量金属分析

イオンクロマトグラフィー（IC）により、ハロゲン、アルカリ金属等のppm～ppbオーダーの微量無機イオンを定量します。

• めっき液等溶液中の微量無機イオン定量
• 大気中浮遊物質捕集液の無機イオン分析
• 洗浄水の清浄度評価（微量無機イオン定量）