微量成分分析
各種溶液、薄膜、基板、気密パッケージに含まれるppm～ppbオーダーの微量化学物質（金属、無機イオン）や微量ガス成分を分析いたします。
試料破壊室に高純度アルゴンガスを充満させた後、気密パッケージの破壊（穿孔）を行い、デバイス中から噴出したガス成分の定量評価を行います。
微量金属の分析
化学的前処理とICP発光分析（ICP-AES）およびICP質量分析（ICP-MS）を用いて、材料中に存在する微量金属の分析を行います。
無機イオンの分析
イオンクロマトグラフィー（IC）により、ハロゲン、アルカリ金属等のppm～ppbオーダーの微量無機イオンを定量します。
